Болотов, М. Г. (2017). ОПТИМІЗАЦІЯ ПРОЦЕСУ ОСАДЖЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПОРОЖНИСТИМ КАТОДОМ. Технічні науки та технології, (3(5), 104. вилучено із http://tst.stu.cn.ua/article/view/92367