БОЛОТОВ, М. Г. ОПТИМІЗАЦІЯ ПРОЦЕСУ ОСАДЖЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПОРОЖНИСТИМ КАТОДОМ. Технічні науки та технології, [S. l.], n. 3(5), p. 104, 2017. Disponível em: http://tst.stu.cn.ua/article/view/92367. Acesso em: 20 груд. 2024.