Болотов, М. Г. (2017) «ОПТИМІЗАЦІЯ ПРОЦЕСУ ОСАДЖЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПОРОЖНИСТИМ КАТОДОМ», Технічні науки та технології, (3(5), с. 104. доступний у: http://tst.stu.cn.ua/article/view/92367 (дата звернення: 23Липень2024).