Болотов, Максим Геннадійович. «ОПТИМІЗАЦІЯ ПРОЦЕСУ ОСАДЖЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПОРОЖНИСТИМ КАТОДОМ». Технічні науки та технології, no. 3(5) (Лютий 22, 2017): 104. дата звернення Грудень 20, 2024. http://tst.stu.cn.ua/article/view/92367.