Небеснюк О, Ніконова А, Алексієвський Д, Ніконова З. Вплив технологічних чинників на якість приладових структур. ТНТ [інтернет]. 25, Квітень 2024 [цит. за 20, Грудень 2024];(1 (35):75-80. доступний у: http://tst.stu.cn.ua/article/view/302707