Болотов МГ. ОПТИМІЗАЦІЯ ПРОЦЕСУ ОСАДЖЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПОРОЖНИСТИМ КАТОДОМ. ТНТ [інтернет]. 22, Лютий 2017 [цит. за 06, Травень 2024];(3(5):104. доступний у: http://tst.stu.cn.ua/article/view/92367