ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ

Автор:

Болотов Максим Геннадьевич , Черниговский национальный технологический университет (ул. Шевченко, 95, г. Чернигов, 14027, Украина)

Язык статьи: украинский

Аннотация:

Приведены результаты применения методов математического планирования эксперимента с целью определения наиболее влиятельных на процессы формирования и роста металлического тонкопленочного покрытия параметров режима осаждения в тлеющем разряде с полым катодом. В результате работы получено регрессионную математическую модель, которая позволяет получить результаты с 4...6 % погрешностью относительно экспериментальных.

Ключевые слова:

математическое планирование эксперимента, тлеющий разряд, полый катод, тонкопленочное покрытие, регрессионная модель

Список использованных источников:

  1. Исследование характеристик плазмы в несбалансированной магнетронной распылительной системе / А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов, С. В. Работкин // Физ. плазмы. – 2009. – Т. 35, № 5. – С. 443–452.

  2. Устройство для осаждения тонких пленок с бомбардировкой быстрыми атомами аргона / А. С. Метель, В. П. Болбуков, М. А. Волосова, С. Н. Григорьев, Ю. А. Мельник // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 3. – С. 114–121.

  3. Болбуков В. П. Распыление мишени на дне полого катода источника быстрых молекул газа в неоднородном магнитном поле / В. П. Болбуков // Вестник МГТУ «СТАНКИН». – 2014. – № 2. – С. 111–117.

  4. Bolotov G., Bolotov M., Rudenko M. Modification of Materials Surface Layers by Low-Energy Ion Irradiation in Glow Discharge / Bolotov G., Bolotov M., Rudenko M. // IEEE 36th International Conference “Electronics and Nanotechnology ELNANO’2016”, pp.135–140, April 2016.

  5. Болотов М. Г. Дослідження локальних властивостей плазми тліючого розряду з порожнистим катодом стосовно до умов зварювального нагріву / М. Г. Болотов // Вісник ЧНТУ. Серія «Технічні науки». – 2013. – № 1. – С. 112–119.

  6. Болотов М. Г. Застосування тліючого розряду з порожнистим катодом у процесах поверхневої обробки металів (огляд) / М. Г. Болотов, М. М. Руденко // Вісник ЧНТУ. Серія «Технічні науки». – 2014. – № 2 (73). – С. 100–103.

  7. Новик Ф. С. Математические методы планирования экспериментов в металловедении / Ф. С. Новик. – М. : МИСИС, 1972. – 105 с.

  8. Болотов М. Г. Параметри керування процесом нагріву при дифузійному зварюванні в тліючому розряді з порожнистим катодом / М. Г. Болотов // Вісник ЧНТУ. Серія «Технічні науки». – 2012. – № 4 (61). – С. 101–106.

  9. Адлер Ю. П. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий / Ю. П. Адлер, Е. В. Маркова, Ю. В. Грановский ; под ред. Ю. П. Адлер. – М. : Наука, 1976. – 278 с.

10. Растригин Л. А. Статистические методы поиска / Л. А. Растригин. – М. : Наука, 1968. – 376 с.

11. Айвазян С. А. Статистическое исследование зависимостей / С. А. Айвазян. – М. : Металлургия, 1966. – 227 с.

Скачать